実験装置

MBE1号機
（RIBER社MBE装置を改造、GaAs系THz-QCL作製に使用）

MBE2号機
（アリオス社製、GaN系THz-QCL作製に使用）

MBE3号機
（アリオス社製、GaAs系THz-QCL作製に使用）

THz帯FT-IR
（日本分光社製　FARIS）

FE-SEM
（JEOL JSM-6700M）

紫外-赤外フォトルミネッセンス（PL）装置

X線回折測定装置
（X'Pert）

4.2KクライオQCL測定装置1

4.2KクライオQCL測定装置2
（OXFORD社製）

マスクアライナー
（MIKASA MA-20型）

段差計
（Veeco Dektak150）

メタルボンディング装置

Eビーム・Wボード真空蒸着器
（片桐エンジニアリング製、THz-QCL用の金属導波路、電極、金属マスク作製などに使用）

Wボード真空蒸着器

AFM装置
（SPI3800N, SPA400）

高速アニール炉

SiO₂プラズマCVD装置
（サムコ社製、PD-220NAR）

ドライエッチング装置
（ULVAC、NE-550EX）

【その他の装置】
リボンボンダー、ダイボンダーなど