実験装置

テラヘルツ量子カスケードレーザー開発用装置


MBE1号機
(RIBER社MBE装置を改造、GaAs系THz-QCL作製に使用)


MBE2号機
(アリオス社製、GaN系THz-QCL作製に使用)


MBE3号機
(アリオス社製、GaAs系THz-QCL作製に使用)


THz帯FT-IR
(日本分光社製 FARIS)


FE-SEM
(JEOL JSM-6700M)


紫外-赤外フォトルミネッセンス(PL)装置


X線回折測定装置
(X'Pert)


4.2KクライオQCL測定装置1


4.2KクライオQCL測定装置2
(OXFORD社製)


マスクアライナー
(MIKASA MA-20型)


段差計
(Veeco Dektak150)


メタルボンディング装置


Eビーム・Wボード真空蒸着器
(片桐エンジニアリング製、THz-QCL用の金属導波路、電極、金属マスク作製などに使用)


Wボード真空蒸着器


AFM装置
(SPI3800N, SPA400)


高速アニール炉


SiO2プラズマCVD装置
(サムコ社製、PD-220NAR)


ドライエッチング装置
(ULVAC、NE-550EX)

【その他の装置】
リボンボンダー、ダイボンダーなど