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伯東・NS社製 Arイオンミリング装置


 ニュートラライザー付きの3インチ基板用Arイオンミリング装置。ナノサイエンス実験棟クリーンルーム内に設置。磁気ナノピラー及び面内スピンバルブ素子作製に使用。
到達真空度 < 2 × 10-5 Pa, 基板傾斜(± 90o) 及び回転可能。