実験装置

MOCVD1号機
（日本EMC社製・自作改造品、高品質AlNテンプレート開発、ELO成長用）

MOCVD2号機
（日本EMC社製・自作改造品、InAlGaN4元混晶LED作製）

MOCVD3号機
（日本EMC社製・自作改造品、高効率AlGaN系LED開発用）

MOCVD4号機
（日本EMC社製・自作改造品、AlGaN系HVPE用）

MOCVD5号機
（VICインターナショナル社製、AlGaN、InAlGaN系LED・LD開発用）

大陽日酸MOCVD［SR4000］
（2インチ×3枚均一高品質AlNテンプレートの供給）

ICPドライエッチング装置
（片桐エンジニアリング社製、DUV-LED、THz-QCLの素子化プロセス用）

真空蒸着器1
（Eビーム、Wボード、自作改造品）

真空蒸着器2
（Wボード、自作）

真空蒸着器3
（Wボード、自作）

アニール炉
（DUV-LEDプロセス）

X線回折装置
［PANalytical製 X'Pert Pro MRD］
（AlN/AlGaN結晶の評価）

紫外フォトルミネッセンス（PL）装置

高抵抗ホール効果測定装置
（東陽テクニカ Resi Test 8300）

エキシマレーザー基板リフトオフ装置

【その他の装置】
FCボンダー、バンプボンダー、LED測定装置、寿命試験装置など